カールスルーヘ工科大学Dr. Jürgen Mohrが来日される機会に講演会を開催することになりました。Dr. Jürgen MohrはERATO百生PJの格子開発サブグループのリーダーをされており、PJのメンバーとして緊密な関係にあります。今回は、カールスルーヘ工科大学でのX線リソグラフィ（LIGA）プロセスをベースにした位相イメージング研究用格子とその加工技術について、下記の講演を頂く講演会を企画致しました。

多数のご来聴をお待ちしております。

日時：　２０１６年７月１２日（火）１１：００－１２：００

場所：　片平キャンパス　多元研科研棟N棟３F　セミナー室(N315)

演題：X-ray optical components fabricated by the LIGA process

講師：Dr. Jürgen Mohr

Head of the department micro optics

Spokesperson of the Karlsruhe Nano Micro Facility Karlsruhe Institute of Technology (KIT) Institute of Microstructure Technology

講演概要：The LIGA process combines X-ray lithography and electroforming to fabricate high aspect ratio microstructures with heights of several 100 micrometer. Due to the freedom in the cross-sectional shape the process is well suited to fabricate X-ray optical components like x-ray lenses, X-ray gratings or apertures for X-rays. In the presentation the current status of the fabrication process will be described. The performance of various lens types like objective lenses, condenser lenses and beam shaping optics will be presented. In view of grating fabrication it will be shown how the four main challenges: realizing larger area gratings, higher grating structures, better quality and last but not least smaller periods to achieve higher resolution will be tackled.