装置

（UNICO製）中にアルゴンが充填されており、不活性雰囲気での操作ができるようになっています。

グローブボックスに流す窒素を製造してくれる機械です。窒素ボンベから供給する方法と比べるとイニシャルコストは高いですが、 窒素を大量に製造してくれるので、ランニングコストを気にせずにバンバン窒素を使うことができます。

（ミリポア）水道水から超純水を製造してくれる装置です。日々の実験に欠かせない純水を手軽に得ることができます。

オイルバスでの加熱などに使います。

真空封管作製装置

（自作）酸水素バーナーを使って石英管を溶かし、真空封管ができます。

（ケニックス製/KDK-800）ガラス中の“アルカリイオン”と“プロトン”を交換(AP置換)するのに用いる特注の装置です。

（マルトー製/ML-160A）サンプルを置いておくだけで自動で研磨してくれるすごい機械です。

（JEOL製/JFC-1600）サンプル表面に金属薄膜電極を作製するための小型スパッタです。ワンタッチで成膜ができて超手軽に使えます。

（EIKO製）酸化物半導体や燃料電池の電極の成膜に用いています。焼結体ターゲットだけではなく、粉末試料をターゲットとして使えるので便利です。

（ケニックス製）酸化物や水素化物の成膜に用いています。基板や成膜した薄膜のエッチングができるので、薄膜積層デバイスの界面もきれいに作ることができます。

（ケニックス製） 硫化物薄膜の成膜に用いています。付属のプラズマクラッキングセルを使って、硫黄欠損を抑えた高品質の硫化物薄膜を作製することができます。また、太陽電池積層構造を真空一貫で作製することもできます。

（ケニックス製） 酸化物や電極の成膜に使っています。グローブボックスと接続されているため、吸湿性のターゲットや薄膜も難なく扱うことができます。焼結体ターゲットだけではなく、粉末試料をターゲットとして使えるので便利です。

（ケニックス製/KB-200）電子ビームでターゲットを加熱して蒸着をする装置です。融点の高いセラミクスの薄膜が作製できます。

（アルバック製）ターゲットにパルスレーザーを照射し、瞬間的に昇華させることで薄膜を作製できます。

（ケニックス製）ターゲットにパルスレーザーを照射し、瞬間的に昇華させることで薄膜を作製できます。こちらはロードロックチャンバーがついているので、効率よく成膜ができます。

（リガク製/Smartlab）試料の結晶相の同定（θ-2θスキャン）が主な用途です。エピタキシャル薄膜の配向性評価（ωスキャン）などにも用います。いつもフル稼働しているなくてはならない装置です。

（日立ハイテク製/U-4100）薄膜の透過率を測定するのに用います。測定可能な波長範囲が175nm～2600nmなので、近赤外域から紫外域まで、幅広く光学特性を分析することができます。

（日立ハイテク製/U-4000）積分球が装備されています。主に、粉末の拡散反射スペクトルの測定に用いています。これで粉末試料のバンドギャップを決定することができます。

（分光計器製/ハイパーモノライト）300～1150nmの単色光を照射できる装置です。主にフォトカレント（光電流）を測定するのに使っています。

（Bruker製/Dektak）サンプルの表面の凹凸を2次元に測定することができます。薄膜の膜厚の測定に使っています。

（日本分光製/NRS-3100CX）ラマン散乱によって、サンプルのローカルな結合状態を観察するのに用いています。

（日本分光製/FP-750）フォト・ルミネッセンス(PL)を測定するのに用いています。

高出力He-Cdレーザーと青色ダイオード励起固体レーザーを励起光にしてPLの測定ができます。 付属のサンプル室は、クライオポンプによる冷却機構とターボポンプによる排気機構が付いており、 極低温・真空下でのPL測定ができます。 サンプル室には電極のパススルーも備わっているので、極低温下での伝導度測定もできます。

（株式会社ルシール他）蛍光の寿命を測定し、発光の起源を同定するのに使います。

（リガク製/TG-DTA8122）熱重量・示差熱測定装置 温度変化によるサンプルの質量変化や、発熱・吸熱を測定します。 無機化合物の耐熱性やガラスの転移点を調べるのに使っています。また、試料観察カメラで、温度変化による試料の形態変化も可能です。

（自作）

試料を透過する水素量を測定し、水素の拡散係数を求めることができます。宮崎大の奥山先生のご指導の下自作しました。

（自作）試料内に温度勾配を付けて熱起電力を測定し、キャリアの極性を判別するのに使っています。

（ビジュアルテクノロジー製）第一原理計算用マシンです。Quantum EspressoやVASPコードを使って計算しています。