東北大学多元物質科学研究所
高温材料物理化学研究分野 福山研究室

ウルトラワイドバンドギャップ半導体基板実用化への道を拓く ― ホームメイド針状結晶を種とする窒化アルミニウム単結晶成長 ―

東北大学多元物質科学研究所の李森助教、飴井千晃大学院生、安達正芳准教授、大塚誠准教授、福山博之教授らの研究グループは、熱力学計算に基づきアルミニウム蒸気を直接窒化させるプロセスにおいて、合金組成、窒素分圧、反応温度を厳密に制御し、反応の駆動力を熱力学的平衡の近傍（近平衡状態）に維持する新しいAlN結晶成長法を開発しました。

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