InNおよびInGaN成長の最近の進展
― DERI法の結果が示唆すること―
メカノケミカル法によるGaN前駆体の合成とそこから派生したITOの直接還元によるIn回収
16:40-17:15
サファイア窒化法の熱力学と窒化機構およびその展開
―高品質窒化アルミニウム膜の作製を目指して―
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