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2008年11月11日
[受賞] 日本電子材料技術協会 優秀賞 / 箱守 明さん
箱守明さんの論文”駆動力制御窒化法による窒化アルミニウム単結晶膜の作製”が、日本電子材料技術協会にて優秀賞を受賞しました。