実験装置
サファイア基板窒化処理用高温炉 |
サファイア基板窒化用黒鉛炉
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高温縦型管状炉
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高周波加熱装置
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パルスDCスパッタ装置
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2元同時スパッタ装置
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超高温熱物性計測システム |
真空蒸着装置
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高温電気炉
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高温顕微鏡 |
分析/評価
超深度カラー3D形状測定顕微鏡 |
X線回折装置
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走査型プローブ顕微鏡
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走査型電子顕微鏡
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超高温熱重量-質量分析装置
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熱重量-示差熱 (TG-DSC) 同時測定装置 |
卓上型X線回折装置
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表面形状測定装置
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試料作製
アーク溶解炉 |
小型真空蒸着装置 |
真空熱処理炉 |