実験装置
![]() サファイア基板窒化処理用高温炉 |
![]() サファイア基板窒化用黒鉛炉
|
![]() 高温縦型管状炉
|
![]() 高周波加熱装置
|
![]() パルスDCスパッタ装置
|
![]() 2元同時スパッタ装置
|
![]() 超高温熱物性計測システム |
![]() 真空蒸着装置
|
![]() 高温電気炉
|
![]() 高温顕微鏡 |
分析/評価
![]() 超深度カラー3D形状測定顕微鏡 |
![]() X線回折装置
|
![]() 走査型プローブ顕微鏡
|
![]() 走査型電子顕微鏡
|
![]() 超高温熱重量-質量分析装置
|
![]() 熱重量-示差熱 (TG-DSC) 同時測定装置 |
![]() 卓上型X線回折装置
|
![]() 表面形状測定装置
|
試料作製
![]() アーク溶解炉 |
![]() 小型真空蒸着装置 |
![]() 真空熱処理炉 |