EF-TEMによる元素マッピング
EF-TEMによる元素マッピング
着目した元素をマッピング
EF-TEM法では、エネルギーフィルターを用いて、特定の元素と相互作用した電子のみを選択的に結像することで、試料中に含まれている元素をマッピングすることが可能です。構成元素にケイ素を含んだナノ粒子分散液を凍結し、EF-TEM法によって観察を行なった結果を示します。通常のTEM像ではナノ粒子と炭素膜が観察されていますが（図1）、EF-TEM像ではナノ粒子（ケイ素）のみが選択的に検出されています（図2）。
EF-TEM法では、エネルギーフィルターを用いて、特定の元素と相互作用した電子のみを選択的に結像することで、試料中に含まれている元素をマッピングすることが可能です。構成元素にケイ素を含んだナノ粒子分散液を凍結し、EF-TEM法によって観察を行なった結果を示します。通常のTEM像ではナノ粒子と炭素膜が観察されていますが（図1）、EF-TEM像ではナノ粒子（ケイ素）のみが選択的に検出されています（図2）。