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概要

TAGEN FOREFRONT 04

FOREFRONT REVIEW栁原研究室の研究の柱は「軟X線による顕微計測技術」の研究です。歴史が比較的新しい軟X線を自在に操るため、軟X線多層膜を利用した軟X線光工学の研究を行っています。高分解能の軟X線顕微鏡を実現させるため、いくつもの工夫を重ねた高精度の多層膜の開発が欠かせません。栁原研究室では、この高精度の多層膜を基盤とした多層膜反射型対物鏡を利用した超高分解能軟X線顕微鏡の開発に取り組んでいます。11TAGEN FOREFRONT