ブックタイトルTAGEN FOREFRONT 02

概要

TAGEN FOREFRONT 02

１９５４年、山形県生まれ。東北大学大学院理学研究科物理学専攻博士課程後期３年の課程　単位修得退学。理学博士。東北大学電気通信研究所 助手、東北大学多元物質科学研究所助教授（改組により配置換え）、東北大学多元物質科学研究所助教授（改組により配置換え）、２０１０年より現職http://www.tagen.tohoku.ac.jp/modules/laboratory/index.php?laboid=77多元物質科学研究所　附属高分子・ハイブリッド材料研究センター　光機能材料化学研究分野TAKAKUWA , YujiFOREFRONT REVIEW髙桑雄二独自のリアルタイム表面計測法から最先端の機能性材料創製へ展開　研究のキーワードを「固体表面動的過程のリアルタイム表面計測法の開発と応用」として、「表面反応機構の理解に基づいた機能性材料創製と表面ナノプロセス開発」を進めています。研究室の専門は、表面物理学、放射光科学、材料科学、プロセス工学。基礎科学のシーズと産業応用のニーズをつなぐ研究活動を進めています。　髙桑研究室の基本方針は「リアルタイム表面計測法」。　この「リアルタイム表面計測法」をベースに、固体表面反応動的過程の理解に基づいた機能性薄膜創製と表面ナノプロセスの開発を進めています。　表面計測手法としてはオージェ電子分光と複合化した反射高速電子回折、高輝度放射光と希ガス共鳴線による光電子分光の開発を進めています。そのキーワードは（１）複合測定、（２）「その場」観察、（３）リアルタイムモニタリングです。そのための複合表面解析装置は、真空槽だけでなくエネルギー分析器や電子銃なども独自に試作開発しております。　観察対象は半導体酸化膜および金属酸化膜形成機構の解明と制御、そして、ダイヤモンド、ＤＬＣ、グラフェンなどのナノ炭素材料の気相合成機構の解明と制御です。機能性薄膜合成だけでなく、チップ・アセンブリ用の表面活性化接合に必要とされる基板表面平坦化のために、光電子制御プラズマＣＶＤプロセスの開発も進めています。　固体表面・界面での化学・固相反応過程を制御することにより、ダイヤモンド、多層グラフェン、ＤＬＣ などのナノ炭素材料や、磁性金属／ＭｇＯ／Ｓｉへテロ構造の機能性薄膜の創製、そして、基板表面改質のための光電子制御プラズマなどの表面ナノプロセスの開発を展開しています。　基礎科学のシーズの産業応用への展開と、産業応用のニーズからの基礎科学の研究テーマの発掘が交差する境界領域において、両者の橋渡しを目的とした研究活動を進め、低環境負荷の高度情報化社会の実現に貢献することを研究目的としています。・ナノ炭素材料の気相合成プロセスの開発・次世代ＣＭＯＳゲートスタックの絶縁膜形成機構の解明と制御・機能性金属酸化膜の表面反応機能の解明と制御・電子回折による固体表面構造解析と応用・表面のスピン配列および超高速現象を捉える新しい構造解析法の開発07FOREFRONT REVIEWTAGEN FOREFRONT TAGEN FOREFRONT 41 42