当研究室の主力装置

高分解能単色X線・紫外線光電子分光装置 (R3000)

レーザー分子線エピタキシ装置#1（Phoenix）

その他の製膜装置

抵抗加熱蒸着機

スパッタ蒸着機

薄膜評価装置など

４端子抵抗測定装置

ワイヤーボンダー

４端針プローバー

半導体パラメータアナライザー

KEK-PFの装置

in situ放射光光電子分光＋レーザー分子線エピタキシ装置＠BL2A

レーザー分子線エピタキシ装置（Walkman）＠BL2A

X線回折装置

原子間力顕微鏡