周辺装置


イオン研磨装置

・Baltec RES100
・加速電圧：　0.8-10kV
・使用ガス：　アルゴン
・アルゴンイオンビームによりTEM観察可能な薄さに試料を研磨

薄膜試料作製装置

・JEOL Ion Slicer
・加速電圧：　1-8kV
・使用ガス：　アルゴン
・液体窒素冷却によりイオンビーム照射時の熱ダメージを軽減

低加速イオン研磨装置

・Gentle Mill IV5
・低エネルギーイオン銃
・加速電圧：　100-2000V
・使用ガス：アルゴン

エッチング装置

・ソフトエッチング装置
・出力 3-18W
・使用ガス：大気、アルゴン、酸素
・大気プラズマによって、試料表面の不純物炭素を除去

FUJI IP リーダー

・Imaging Plate(IP)で検出したTEM像・電子回折図形・EELSスペクトルを現像しデジタルデータとして保存
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