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ROOM 314

314風景1
通称「SEM部屋(セムベヤ)」と言われているところ。
エアコンがついているので夏は快適に過ごせる場所の1つ
向かいにAFMが設置されていますが
多分誰も使わないでしょう...
この部屋にある装置
装置1OSMIUM PLASMA COATER(左)
(NIPPON LAZER & ELECTRONICS LAB.,
NL-OPC80N)

オスミウムのプラズマコーティング法は分子レベルの均一な非晶薄膜が試料表面の微細構造を精密に型取りすることが可能で、試料表面帯電、熱ダメージを防ぐことができる。

イオンスパッタ(右)
(HITACHI, E102)
走査電子顕微鏡(SEM)の試料作製器として、有機物など非電導試料への金属コーティングを行うために使用します。ターゲットは、白金を使用しています。
装置2原子間力顕微鏡
(SHIMADZU, SPM-9500)

試料表面の形状を観察する装置です。ヘッドを交換することにより、試料表面のトンネル電流像観察を行うことができるという優れ物であります。
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