中川勝教授の総説記事が2016/8/8 掲載の日経テクノロジーonlineで取り上げられました。
「期待のナノインプリントリソグラフィ、現状と今後の課題」と題された本記事は、応用物理学会発行の機関誌『応用物理』、第85巻、第6号掲載記事の抜粋版です。
日本の半導体業界のナノインプリント関係の最近の動向から、実用化へ向けた取り組み、最新の学術的課題などにふれています。
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日経テクノロジーonlineで中川先生のナノインプリントに関する記事が取り上げられました。
2016年8月10日
日経テクノロジーonlineで中川先生のナノインプリントに関する記事が取り上げられました。
