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北上研究室で利用している主な実験装置

 北上研究室では,おもに強磁性材料に関する基礎研究ならびに材料開発を行っています.
 下に示すのは,当研究室で保有もしくは他組織の施設をスタッフ・学生が共同利用している実験装置です.北上研究室では,多元研機械工場で作製した自作の装置を多く使っています.また,既成の装置でも,実験の目的に合わせて改良・改造を加えて使用しています.各項目の”詳細”をクリックすると装置の詳細がご覧になれます.
 実験機器の利用や使用法に関するご質問,お問い合わせはこちらまでお気軽にご連絡ください.("@tagen.tohoku.ac.jp"をアドレスの後に付けてください)

成膜装置 [詳細]

(北上研所有装置)
1.Eiko製高真空スパッタ装置
2.Eiko製高真空蒸着装置(EBガン×2,K-cell×3)
3.4元スパッタ装置
4.3元スパッタ装置
5.3元スパッタ装置
6.熱蒸着装置(低真空)

微細加工装置 [詳細]

(北上研所有装置)
‐イエロールーム内- 
1.マスクアライナー (ミカサ社製 MA-20,基板サイズ25×25mm2,マスクサイズ3インチ) 
2.スピンコーター (ミカサ社製) 
3.ホットプレート (20×20cm2,max250度)
-イエロールーム外-
4.(アルゴン,酸素)プラズマエッチング/アッシング装置(自作) 
5.原子間力顕微鏡(SIIナノテクノロジー製:SPI-400) 


(共用装置)
‐工学部マテリアル開発系50周年記念館微細加工室内-
1.電子線露光装置 (JEOL JBX-5000SD,基板サイズ25×25um2)
2.Arイオンエッチング装置

評価装置 [詳細]

(北上研所有装置)
1.触針式表面粗さ計 :小坂研究所
2.振動試料型磁力計(VSM):DMS社VSM-10(最大印加磁場2.7T) 
3.振動試料型磁力計(VSM):理研電子/東栄科学産業(最大印加磁場1.5T)
4.QD社PPMS :最大印加磁場9T 
5.原子間力顕微鏡(SIIナノテクノロジー製:SPI-400)
6.原子間力顕微鏡(SIIナノテクノロジー製:SPI-300HV)
7.パルス磁場発生装置(自作)
8.ベクトルネットワークアナライザー
9.信号発生器
10.垂直磁場印加型プローバー

(共用装置)
‐多元物質科学研究所共通装置-
1.走査型電子顕微鏡
2.X線回折装置
3.多目的X線回折装置