静的分光・変調分光
Steady-state & modulation spectroscopy
■測定手法いろいろ
★古くから半導体光評価技術として用いられてきた様々な分光手法を用います。
バンド構造評価技術
○ 静的吸収(OA)・反射(OR)
○ 変調反射
変調源として・・・
光(PR)、電場(ER)、電子(EBER)など
○ フォトルミネセンス励起(PLE)
○ 光起電力(PV) 等々
発光特性評価技術
○ フォトルミネセンス(PL) ・・・光励起
マクロな領域を観察
○ カソードルミネセンス(CL) ・・・電子線励起
局所観察可能
○ エレクトロルミネセンス(EL)・・・電流注入
電流の流れやすいところを観察
ScMgAlO
4
上ZnO薄膜の低温PLスペクトル（赤線）
バルクZnO単結晶の低温PLスペクトル（青線）
[J. Appl. Phys. 99, 093505 (2006).]
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